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高純氣體
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氣體 |
氣體規格 |
執行標準 |
雜質含量（V/V、PPM） |
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高純氮 |
99.999% |
GB/T89801996 |
O2≤3、H2O≤5、
H2≤1、總碳≤3
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高純氫 |
99.999% |
GB/T7455-1995 |
O2≤1、H2O≤3、
N2≤5、總碳≤3 |
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高純氧 |
99.999% |
GB/T145991993 |
Ar≤2、H2O≤2、
N2≤5、總碳≤1 |
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高純二氧化碳 |
99.995% |
國外標準 |
O2≤10、H2O≤10、
N2≤30、THC≤5 |
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高純乙炔 |
99.9% |
企業標準 |
PH3≤1 H2S≤5
H2O≤100 NH 3O≤5 |
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高純丙烷 |
99.9% |
企業標準 |
O2+N2≤20、CH4≤50、C2≤1、總碳≤1.5、C2H6≤100、H2≤100 |
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高純氬 |
99.999% |
GB/T106241995 |
O2≤2、H2O≤4、H2≤1、總碳≤2、N2≤5、 |
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高純氦 |
99.999% |
GB/T4844.3-1995 |
O2≤1、H2O≤3、H2≤1、總碳≤1.5、N2≤2、Ne≤4 | |
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